真空法蘭連接或法蘭接頭，是指由法蘭、墊片及螺栓三者相互連接作為一組組合密封結構的可折連接，管道法蘭系指管道裝置中配管用的法蘭，用在設備上系指設備的進出口法蘭。可靠，可在任何方向開啟，易于拆卸，從而容易清洗。

真空法蘭利用銅墊片和法蘭刀口來實現真空密封功能。真空法蘭封蓋有各種型式,有固定與可旋轉式,而螺栓孔又有所謂有螺紋孔與直通孔之分。真空封蓋應用于真空系統或真空設備腔體管件。

一些參數介紹：

材質: 不銹鋼304S.S. 和不銹鋼316S.S

尺寸: CF16 ~ CF350

溫度:150°C (氟橡膠Viton) / -200°C ~450°C(無氧銅OFHC Copper)

真空度: 10-13 torr